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捕捉變化，開拓未來
通過科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和未來的人才培養(yǎng)為社會(huì)做貢獻(xiàn)
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主營產(chǎn)品： 實(shí)驗(yàn)室儀器；測量儀器；環(huán)境檢測儀器；計(jì)量器具；傳感器の專門商社池田屋！
ORC歐阿希 紫外線照射裝置設(shè)備
產(chǎn)品型號(hào)：VUM-3073F
產(chǎn)品簡介：

ORC歐阿希 紫外線照射裝置設(shè)備 ORC歐阿希 紫外線照射裝置設(shè)備

詳細(xì)介紹

 ORC歐阿希 紫外線照射裝置設(shè)備
 ORC歐阿希 紫外線照射裝置設(shè)備


這是在半導(dǎo)體制造工序、液晶基板制造工序等微細(xì)圖案形成工序中，對(duì)殘留在基板表面的有機(jī)物照射UV，以非接觸方式去除有機(jī)污染物的裝置?？梢栽诓粨p壞基材的情況下清潔和修飾表面。

標(biāo)題01
  • 配備獨(dú)特的低壓紫外燈，對(duì)基材損傷小，分解有機(jī)物能力強(qiáng)。
  • 通過采用擺動(dòng)基板的方式，將UV光量均勻地照射到基板上。
  • 主板不會(huì)發(fā)熱太多。
  • 可以應(yīng)用消除臭氧的照射方法和**氮?dú)獾恼丈浞椒ā?/span>
 
產(chǎn)品規(guī)格

規(guī)格

模型 VUM-3073F
使用的燈 低壓紫外線燈
VUV-040/A-2.2U?4燈
照射距離 15毫米
照射面積 200寬×200深
照射時(shí)間 0~99分59秒（可變）
廢氣臭氧去除 使用過濾器分解臭氧
外形尺寸 580(寬)×500(深)×240(高)mm 25kg