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捕捉變化，開拓未來
通過科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和未來的人才培養(yǎng)為社會(huì)做貢獻(xiàn)
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主營(yíng)產(chǎn)品： 實(shí)驗(yàn)室儀器；測(cè)量?jī)x器；環(huán)境檢測(cè)儀器；計(jì)量器具；傳感器の專門商社池田屋！
ORC歐阿希 紫外線照射裝置設(shè)備
產(chǎn)品型號(hào)： HMW-615N-4
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

ORC歐阿希 紫外線照射裝置設(shè)備 ORC歐阿希 紫外線照射裝置設(shè)備

詳細(xì)介紹

 ORC歐阿希 紫外線照射裝置設(shè)備 
 ORC歐阿希 紫外線照射裝置設(shè)備 


這是在半導(dǎo)體制造工序、液晶基板制造工序等微細(xì)圖案形成工序中，對(duì)殘留在基板表面的有機(jī)物照射UV，以非接觸方式去除有機(jī)污染物的裝置?？梢栽诓粨p壞基材的情況下清潔和修飾表面。

標(biāo)題01
  • 配備獨(dú)特的低壓紫外燈，對(duì)基材損傷小，分解有機(jī)物能力強(qiáng)。
  • 通過采用擺動(dòng)基板的方式，將UV光量均勻地照射到基板上。
  • 主板不會(huì)發(fā)熱太多。
  • 可以應(yīng)用消除臭氧的照射方法和**氮?dú)獾恼丈浞椒ā?/span>
 
產(chǎn)品規(guī)格

規(guī)格

模型 HMW-615N-4
使用的燈 低壓UV燈
VUV-100/A-5.3U?7燈
照射距離 25毫米
照射面積 400寬×400深
照射時(shí)間 任意（*長(zhǎng) 99 分 59 秒）
廢氣臭氧去除 使用過濾器分解臭氧
外形尺寸 700(寬)×800(深)×1447(高)