光源 有效曝光尺寸 基材寬度 解決 吞吐量 總體疊加精度 RDi-10 雙核 半導(dǎo)體激光器 635x520毫米 250mm 寬 x 2 個(gè)水槽(500mm 寬 x 1 個(gè)水槽也可以) 10μm長(zhǎng)/秒 38秒/平面@30mJ MD:500mm 6μm RDi-MP 半導(dǎo)體激光器 515x260毫米 250mm(*其他要求可協(xié)商) 4μm長(zhǎng)/秒 45秒/平面@55mJ MD:515mm 3.5μm RDi-MP 二重奏 半導(dǎo)體激光器 515x590毫米 250mm寬x 2個(gè)主水槽(*其他要求可協(xié)商) 4μm長(zhǎng)/秒 44秒/平面@50mJ MD:500mm 3.5μm RDi?80 紫外線燈 635x520毫米 250/500毫米 30μm L/S / Φ80μm 58秒/平面@150mJ 69秒/平面@200mJ MD:610mm 7μm