物品 模式1 模式2 模式3 光源 半導(dǎo)體激光器 分辨率(長(zhǎng)/秒) 4μm 5μm 8微米 數(shù)據(jù)分辨率 0.1/0.25/0.5微米 *大曝光尺寸 515×515毫米 總體疊加精度 3.5微米