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捕捉變化，開(kāi)拓未來(lái)
通過(guò)科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和未來(lái)的人才培養(yǎng)為社會(huì)做貢獻(xiàn)
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主營(yíng)產(chǎn)品： 實(shí)驗(yàn)室儀器；測(cè)量?jī)x器；環(huán)境檢測(cè)儀器；計(jì)量器具；傳感器の專(zhuān)門(mén)商社池田屋！
新品ORC歐阿希半導(dǎo)體用UV照射設(shè)備
產(chǎn)品型號(hào)：VUM-3500
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

新品ORC歐阿希半導(dǎo)體用UV照射設(shè)備 新品ORC歐阿希半導(dǎo)體用UV照射設(shè)備 采用254nm波長(zhǎng)，*適合去除電荷。 單波長(zhǎng)允許低溫處理。 用低入射角紫外線有效照射目標(biāo)區(qū)域。 提高了LSI的成品率和可靠性。

詳細(xì)介紹

 新品ORC歐阿希半導(dǎo)體用UV照射設(shè)備

 新品ORC歐阿希半導(dǎo)體用UV照射設(shè)備


產(chǎn)品規(guī)格

規(guī)格

模型 VUM-3500
晶圓尺寸 Φ300毫米（標(biāo)準(zhǔn)）
同時(shí)處理數(shù) 15 件
盒式磁帶格式 晶圓傳送盒
晶圓運(yùn)輸 自動(dòng)輸送
燈數(shù)量 20 件
照度測(cè)量 自動(dòng)測(cè)量
閃存、其他非易失性存儲(chǔ)器、圖像傳感器等的電荷去除和數(shù)據(jù)擦除。

 

標(biāo)題01
  • 采用254nm波長(zhǎng)，*適合去除電荷。
  • 單波長(zhǎng)允許低溫處理。
  • 用低入射角紫外線有效照射目標(biāo)區(qū)域。
  • 提高了LSI的成品率和可靠性。