模型	PPS-8200p1/8300p1
晶圓尺寸	6/8/12英寸
解決	2.0 μmL/S（2.0 μm 抗蝕劑厚度）
NA（數(shù)值孔徑）	0.16、0.1 變量
減速比	1:1
場地大小	52毫米×33毫米
曝光波長	ghi-Line gh-line i-line（食譜鏈接）
標(biāo)線尺寸	6寸
疊加精度	≤0.5 μm(|平均|+3σ)
設(shè)備尺寸/重量	(寬)2,260 x (深)3,460 x (高)2,500mm / 5,500kg
主要選項	背面對準(zhǔn)系統(tǒng) 晶圓周邊曝光系統(tǒng) 晶圓周邊非曝光系統(tǒng) 薄晶圓輸送系統(tǒng) 兼容GEM通信 內(nèi)聯(lián)兼容