原廠Osaka Vacuum大阪真空緊湊性干式真空泵ER100DC
原廠Osaka Vacuum大阪真空緊湊性干式真空泵ER100DC
在同類干式真空泵中實(shí)現(xiàn)了**的能效、緊湊性和輕量化。
極限壓力下的功耗:400W
安裝面積:0.11m 2
重量:60kg
■可根據(jù)應(yīng)用提供產(chǎn)品規(guī)格。
ER100D:輕負(fù)載和清潔工藝排氣的理想選擇
ER100DC:采用高耐腐蝕性材料制成,適合排放腐蝕性氣體
目的
?潔凈排氣
?濺射裝置粗排氣
?TMP等高真空泵輔助泵
?負(fù)載鎖定室、傳送室排氣
?小型實(shí)驗(yàn)裝置排氣
?吸附傳送系統(tǒng)
?分析/測量裝置排氣
?小型反應(yīng)堆排氣
?電子槍源、離子槍源排氣
模型 | ER100D/ER100DC(耐腐蝕型) | |
抽速(升/分鐘) | 1670 | |
試驗(yàn)極限壓力(Pa) | 5.0 | |
極限壓力下的功耗(W) | 400 | |
電源 | 電壓(伏) | 200-220 |
頻率(赫茲) | 50/60 | |
相數(shù) | 三相 | |
電源容量(kVA) | 3.2 | |
N2吹掃 氣體流量(Pa?m3 / s) | 17-20日 | |
冷卻方式 | 水冷 | |
冷卻水量(L/min) | 1.5-3.0 | |
冷卻水溫度(℃) | *多 30 | |
質(zhì)量(公斤) | 60 |
[兼容氣體類型]
根據(jù)吸入氣體類型,內(nèi)部部件可能會(huì)劣化。
請(qǐng)聯(lián)系我們的銷售部門了解兼容的氣體類型。