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捕捉變化，開拓未來
通過科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和未來的人才培養(yǎng)為社會(huì)做貢獻(xiàn)
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主營產(chǎn)品： 實(shí)驗(yàn)室儀器；測量儀器；環(huán)境檢測儀器；計(jì)量器具；傳感器の專門商社池田屋！
直銷Osaka Vacuum大阪真空螺旋槽真空泵TS50
產(chǎn)品型號(hào)：TS440
產(chǎn)品簡介：

直銷Osaka Vacuum大阪真空螺旋槽真空泵TS50 直銷Osaka Vacuum大阪真空螺旋槽真空泵TS50

詳細(xì)介紹

直銷Osaka Vacuum大阪真空螺旋槽真空泵TS50

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  • 全級(jí)螺旋槽（螺紋槽）結(jié)構(gòu)
  • 能夠在中、低真空區(qū)域排出大量氣體
  • 可承受超過30萬次大氣層再入
  • **標(biāo)準(zhǔn)：NRTL/SEMI-S2

目的

  • 半導(dǎo)體制造
  • 電子槍排氣、離子源排氣
  • 表面處理、表面改性
  • 各種電子零件制造
  • 管材制造、光學(xué)零件制造
  • 加速器、輻射設(shè)施、核聚變研究
  • 熱處理
  • 研究與開發(fā)

進(jìn)氣法蘭 VG100
CF100
ISO-R100
抽速 氮?dú)?/span>（ 升/秒） 二十五
N 2 (帶保護(hù)絲網(wǎng)) (L/s) 23
H2 （ 升/秒） 13
*大壓縮比 N2 2× 106
H2 50
*大氣體流量*1、*2 氮?dú)? sccm  ) 600
啟動(dòng)時(shí)間 （分鐘） 2.5～3.5
停止時(shí)間  （分鐘） 2.5～5
極限壓力*3 （帕） < 1×10 -4
（托爾） < 7.5×10 -7
允許輔助壓力 （帕） 1200
（托爾） 9
推薦輔助泵 (升/分鐘) ≧80
安裝位置 直立（±10°）
大量的 （公斤） 11

 

*1: 1Pa·L/s (25℃) = 0.543sccm (0℃, 1 atm)
*2: 排氣口輔助排氣速度為160L/min時(shí)的值。
*3：烘烤48小時(shí)后獲得的值。