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捕捉變化,開拓未來
通過科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和未來的人才培養(yǎng)為社會做貢獻
17607554908
主營產(chǎn)品: 實驗室儀器;測量儀器;環(huán)境檢測儀器;計量器具;傳感器の專門商社池田屋!
全新Osaka Vacuum大阪真空串行通信分子泵 TG3413
產(chǎn)品型號:TG5000
產(chǎn)品簡介:

全新Osaka Vacuum大阪真空串行通信分子泵 TG3413 全新Osaka Vacuum大阪真空串行通信分子泵 TG3413

詳細(xì)介紹


全新Osaka Vacuum大阪真空串行通信分子泵 TG3413

全新Osaka Vacuum大阪真空串行通信分子泵 TG3413


產(chǎn)品陣容包括標(biāo)準(zhǔn)型和耐腐蝕性氣體排放的化學(xué)型。

 

■抵抗意外大氣進入的結(jié)構(gòu)

 

■ 抗外部沖擊能力強

 

■可進行串行通信

 

■**標(biāo)準(zhǔn)

NRTL/SEMI-S2

目的

?半導(dǎo)體制造

?電子槍排氣、離子源排氣

?FPD制造

?表面處理、表面改性

?各種電子零件的制造

?管材制造、光學(xué)零件制造

?加速器、放射線設(shè)施、核聚變研究

·熱處理

·研究與開發(fā)

*對于清潔工藝,請選擇TG-F系列、TG-M系列或TGkine系列。


進氣法蘭  VG350
抽速 氮氣升/秒) 3400
2 (帶保護絲網(wǎng)) (L/s) 3200
H2 升/秒) 2600
*大壓縮比  N2 1× 108
H2 6× 103
極限壓力  VG(帕) <1× 10-6
VG(托) <7.5×10 -9
*大氣體流量*1 氮氣( sccm ) 第543章
啟動時間 (分鐘)  10-15日
停止時間 (分鐘) 25-30日
允許輔助壓力 (帕/托) 270/2
推薦輔助泵 (升/分鐘) 1500
潤滑油量 (毫升) 260
安裝位置 垂直(±10°)
大量的 (公斤) 100
控制器型號 TC3213
  • *1:輔助泵容量為3000L/min時的*大允許流量
  • [工作環(huán)境溫度]
  • 保證極限壓力的環(huán)境溫度為10~23℃。另外,允許的環(huán)境溫度為10至40℃。極限壓力保證冷卻水溫度為30℃以下,允許冷卻水溫度為10~35℃。
  • [兼容氣體類型]
  • 根據(jù)吸入氣體的類型,軸承潤滑油和內(nèi)部零件可能會變質(zhì)。請聯(lián)系我們了解兼容的氣體類型。