進口Osaka Vacuum大阪真空分子泵設備 TG1303
耐腐蝕性氣體排出的化學型
■抵抗意外大氣進入的結構
■ 抗外部沖擊能力強
■可進行串行通信
■**標準
NRTL/SEMI-S2/CE
目的
?半導體制造
?電子槍排氣、離子源排氣
?FPD制造
?表面處理、表面改性
?各種電子零件的制造
?管材制造、光學零件制造
?加速器、放射線設施、核聚變研究
·熱處理
·研究與開發(fā)
*對于清潔工藝，請選擇TG-F系列、TG-M系列或TGkine系列。