全新Osaka Vacuum大阪真空**性分子泵TG553
■耐腐蝕性氣體排出的化學(xué)型
■抵抗意外大氣進(jìn)入的結(jié)構(gòu)
■ 抗外部沖擊能力強(qiáng)
■可進(jìn)行串行通信
■**標(biāo)準(zhǔn)
NRTL/SEMI-S2
目的
?半導(dǎo)體制造
?電子槍排氣、離子源排氣
?FPD制造
?表面處理、表面改性
?各種電子零件的制造
?管材制造、光學(xué)零件制造
?加速器、放射線設(shè)施、核聚變研究
·熱處理
·研究與開發(fā)
*對(duì)于清潔工藝，請(qǐng)選擇TG-F系列、TG-M系列或TGkine系列。