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捕捉變化,開拓未來
通過科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和未來的人才培養(yǎng)為社會做貢獻
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主營產(chǎn)品: 實驗室儀器;測量儀器;環(huán)境檢測儀器;計量器具;傳感器の專門商社池田屋!
原廠Osaka Vacuum大阪真空耐腐蝕分子泵TGkine4200M-R
產(chǎn)品型號:TG203
產(chǎn)品簡介:

原廠Osaka Vacuum大阪真空耐腐蝕分子泵TGkine4200M-R 原廠Osaka Vacuum大阪真空耐腐蝕分子泵TGkine4200M-R

詳細介紹

原廠Osaka Vacuum大阪真空通用分子泵 TGkine4200MI-B

原廠Osaka Vacuum大阪真空通用分子泵 TGkine4200MI-B


反應(yīng)生成物對策型TGkineMI-B系列

  • 反應(yīng)生成物對策型TGkineMI-B系列

該系列針對反應(yīng)產(chǎn)物容易積聚的設(shè)備,采用了我們獨特的隔熱結(jié)構(gòu)/自加熱機制,顯著降低了反應(yīng)產(chǎn)物積聚率。

 

  • 傳統(tǒng)磁力軸承式渦輪分子泵反應(yīng)產(chǎn)物的對策


對包括目標區(qū)域在內(nèi)的整個周圍區(qū)域進行加熱的方法。它無法被有效地使用。
?目標區(qū)域外的熱效應(yīng)

  • 使用TGkineMI-B系列的對策

除了通過外部加熱器提高溫度外,還有效利用泵內(nèi)部與吸入氣體產(chǎn)生的摩擦熱,有效提高與氣體接觸部分的溫度
并抑制外部加熱器的輸出,提高節(jié)能效果! !
- *大限度地減少對主要部件的熱影響并減少對泵的損壞。
?維持*佳溫度,防止排氣管內(nèi)生成產(chǎn)物。

 

目的

  • 半導(dǎo)體、FPD、MEMS制造等蝕刻設(shè)備
  • 容易產(chǎn)生反應(yīng)產(chǎn)物的工藝設(shè)備