該系列針對反應產物容易積聚的設備，采用了我們獨特的隔熱結構/自加熱機制，顯著降低了反應產物積聚率。

• 傳統(tǒng)磁力軸承式渦輪分子泵反應產物的對策

對包括目標區(qū)域在內的整個周圍區(qū)域進行加熱的方法。它無法被有效地使用。
?目標區(qū)域外的熱效應

• 使用TGkineMI-B系列的對策

除了通過外部加熱器提高溫度外，還有效利用泵內部與吸入氣體產生的摩擦熱，有效提高與氣體接觸部分的溫度
并抑制外部加熱器的輸出，提高節(jié)能效果！ ！
- *大限度地減少對主要部件的熱影響并減少對泵的損壞。
?維持*佳溫度，防止排氣管內生成產物。