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捕捉變化,開拓未來
通過科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和未來的人才培養(yǎng)為社會(huì)做貢獻(xiàn)
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主營產(chǎn)品: 實(shí)驗(yàn)室儀器;測量儀器;環(huán)境檢測儀器;計(jì)量器具;傳感器の專門商社池田屋!
日本Osaka Vacuum大阪真空傳統(tǒng)分子泵 TGkine2200MI-B
產(chǎn)品型號(hào):TGkine3300MI-B
產(chǎn)品簡介:

日本Osaka Vacuum大阪真空傳統(tǒng)分子泵 TGkine2200MI-B 日本Osaka Vacuum大阪真空傳統(tǒng)分子泵 TGkine2200MI-B

詳細(xì)介紹

日本Osaka Vacuum大阪真空傳統(tǒng)分子泵  TGkine2200MI-B

日本Osaka Vacuum大阪真空傳統(tǒng)分子泵  TGkine2200MI-B


該系列針對(duì)反應(yīng)產(chǎn)物容易積聚的設(shè)備,采用了我們獨(dú)特的隔熱結(jié)構(gòu)/自加熱機(jī)制,顯著降低了反應(yīng)產(chǎn)物積聚率。

 

  • 傳統(tǒng)磁力軸承式渦輪分子泵反應(yīng)產(chǎn)物的對(duì)策


對(duì)包括目標(biāo)區(qū)域在內(nèi)的整個(gè)周圍區(qū)域進(jìn)行加熱的方法。它無法被有效地使用。
?目標(biāo)區(qū)域外的熱效應(yīng)

  • 使用TGkineMI-B系列的對(duì)策

除了通過外部加熱器提高溫度外,還有效利用泵內(nèi)部與吸入氣體產(chǎn)生的摩擦熱,有效提高與氣體接觸部分的溫度
并抑制外部加熱器的輸出,提高節(jié)能效果! !
- *大限度地減少對(duì)主要部件的熱影響并減少對(duì)泵的損壞。
?維持*佳溫度,防止排氣管內(nèi)生成產(chǎn)物。

 

目的

  • 半導(dǎo)體、FPD、MEMS制造等蝕刻設(shè)備
  • 容易產(chǎn)生反應(yīng)產(chǎn)物的工藝設(shè)備