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捕捉變化,開拓未來(lái)
通過(guò)科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和未來(lái)的人才培養(yǎng)為社會(huì)做貢獻(xiàn)
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主營(yíng)產(chǎn)品: 實(shí)驗(yàn)室儀器;測(cè)量?jī)x器;環(huán)境檢測(cè)儀器;計(jì)量器具;傳感器の專門商社池田屋!
日本Osaka Vacuum大阪真空復(fù)合分子泵 TG-390MI
產(chǎn)品型號(hào):TG-420MI
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

日本Osaka Vacuum大阪真空復(fù)合分子泵 TG-390MI 日本Osaka Vacuum大阪真空復(fù)合分子泵 TG-390MI

詳細(xì)介紹

日本Osaka Vacuum大阪真空復(fù)合分子泵  TG-390MI

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TG-MI系列反應(yīng)產(chǎn)物渦輪分子泵的特點(diǎn)

 

該系列針對(duì)反應(yīng)產(chǎn)物容易積聚的設(shè)備,采用了我們獨(dú)特的隔熱結(jié)構(gòu)/自加熱機(jī)制,顯著降低了反應(yīng)產(chǎn)物積聚率。

  • 加熱整個(gè)周圍區(qū)域(包括反應(yīng)產(chǎn)物對(duì)策
    目標(biāo)區(qū)域)的傳統(tǒng)方法
    - 熱量分散。
    ?無(wú)法有效利用。
    ?目標(biāo)區(qū)域外的熱效應(yīng)

 

  • TG-MI系列采取的措施
    除了利用外部加熱器升溫外,
    還可以有效利用泵內(nèi)部與吸入氣體產(chǎn)生的摩擦熱,有效提高與氣體接觸部分的溫度,抑制提高了外部加熱器的節(jié)能效果! !
    - *大限度地減少對(duì)主要部件的熱影響并減少對(duì)泵的損壞。
    ?排氣管也使用隔熱材料。保持*佳溫度并防止排氣管道中生成產(chǎn)物。

目的

  • 半導(dǎo)體、FPD、MEMS制造等蝕刻設(shè)備
  • 容易產(chǎn)生反應(yīng)產(chǎn)物的工藝設(shè)備