日本Osaka Vacuum大阪真空渦輪分子泵TG1300MU
即使在惡劣的輻射環(huán)境下也能使用！在耐久性試驗中累計吸收劑量達到100MGy以上！ 兼容長電纜！ (可延長約200m) J-PARC中心超過10年的運營記錄
磁力軸承式復合分子泵TG-M系列 采用磁力軸承，完全無油排氣，維護周期長。產(chǎn)品陣容涵蓋 300L/s 至 3400L/s 級。 渦輪分 超高真空渦輪分子泵TG-MU系列特點 在超高真空環(huán)境中，殘余氣體大部分是氫氣等輕質(zhì)氣體。通過提高輕氣體排氣性能，更容易獲得更好的真空環(huán)境。 如果在初始抽真空時能夠獲得良好的真空環(huán)境，則制造過程中殘留氣體較少，從而提高產(chǎn)品質(zhì)量。 子泵（磁力軸承型）剖視圖
磁力軸承式復合分子泵TG-M系列
采用磁力軸承，完全無油排氣，維護周期長。產(chǎn)品陣容涵蓋 300L/s 至 3400L/s 級。
渦輪分 超高真空渦輪分子泵TG-MU系列特點 在超高真空環(huán)境中，殘余氣體大部分是氫氣等輕質(zhì)氣體。通過提高輕氣體排氣性能，更容易獲得更好的真空環(huán)境。 如果在初始抽真空時能夠獲得良好的真空環(huán)境，則制造過程中殘留氣體較少，從而提高產(chǎn)品質(zhì)量。 子泵（磁力軸承型）剖視圖