超低振動渦輪分子泵TG-ML系列特點

半導(dǎo)體制造正朝著進一步小型化和更高集成度的方向發(fā)展。同時，也要求分析、測量和檢驗過程具有更高的精度和更高的性能。即使控制技術(shù)進步，如果為了進行微觀區(qū)域的微細加工、測量和分析而使設(shè)備產(chǎn)生振動，那也是沒有意義的。因此，對真空泵的減振提出了強烈的要求。

• 成功將泵體振動值抑制到1nm以下！ *基于我們的測量方法
• 通過安裝專用減振阻尼器，振動值進一步降低一個數(shù)量級！