原廠Osaka Vacuum大阪真空尺寸緊湊分子泵TG2400F
自由安裝位置
■尺寸緊湊
■節(jié)能
■快速啟動(dòng)
■耐大氣侵入的結(jié)構(gòu)
■可進(jìn)行串行通信
■符合**標(biāo)準(zhǔn)NRTL/SEMI-S2/CE
目的
?半導(dǎo)體制造
?電子槍排氣、離子源排氣
?FPD制造
?表面處理、表面改性
?各種電子零件的制造
?分析測(cè)試設(shè)備
?管材制造、光學(xué)零件制造
?加速器、放射線設(shè)施、核聚變研究
·熱處理
·研究與開(kāi)發(fā)
*排出腐蝕性氣體等時(shí)，請(qǐng)選擇與化學(xué)品兼容的TG-M或TG系列。