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捕捉變化，開拓未來
通過科學技術(shù)的發(fā)展和未來的人才培養(yǎng)為社會做貢獻
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主營產(chǎn)品： 實驗室儀器；測量儀器；環(huán)境檢測儀器；計量器具；傳感器の專門商社池田屋！
日本Osaka Vacuum大阪真空快速啟動分子泵TG1100F
產(chǎn)品型號：TG1400F
產(chǎn)品簡介：

日本Osaka Vacuum大阪真空快速啟動分子泵TG1100F 日本Osaka Vacuum大阪真空快速啟動分子泵TG1100F

詳細介紹

日本Osaka Vacuum大阪真空快速啟動分子泵TG1100F

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?半導體制造

?電子槍排氣、離子源排氣

?FPD制造

?表面處理、表面改性

?各種電子零件的制造

?分析測試設(shè)備

?管材制造、光學零件制造

?加速器、放射線設(shè)施、核聚變研究

·熱處理

·研究與開發(fā)

*排出腐蝕性氣體等時，請選擇與化學品兼容的TG-M或TG系列。


模型 TG1100F TG1100F*A*-60/TG1100F*W*
進氣法蘭  VG200/ISO-B200/CF200
抽速 氮氣（升/秒） 1100
N 2 (帶保護絲網(wǎng)) (L/s) 1000
H2 （升/秒） 720
*大壓縮比  N2 1× 108
H2 1×10 4
極限壓力  （帕/托） <1×10 -6 /<7.5×10 -9
*大氣體流量*1 *2 （SCCM） 330 860
啟動時間*2 （分鐘）  7-9 5.5-7
停止時間*2 （分鐘）  27-32 12-15日
允許輔助壓力 （帕/托） 330/2.5
推薦輔助泵 (升/分鐘) ≧250
安裝位置 自由地
大量的 VG?ISO-B/CF(公斤)  28/27
控制器型號 TC1104 TC1103 *3
  • *1：輔助泵容量為500L/min時的*大允許流量
  • *2：根據(jù)電源型號而變化（標準：TC1104）
  • *3：風冷時需更換風冷風扇（TG1100F***-60）
  • [工作環(huán)境溫度]
  • 保證極限壓力的環(huán)境溫度為10～23℃。另外，風冷時允許環(huán)境溫度為10～32℃，水冷時允許環(huán)境溫度為10～40℃。極限壓力保證冷卻水溫度為30℃以下，允許冷卻水溫度為10～35℃。
  • [兼容氣體類型]
  • 根據(jù)吸入氣體的類型，可能會損壞軸承潤滑油脂和內(nèi)部零件。請聯(lián)系我們了解兼容的氣體類型。