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捕捉變化，開拓未來
通過科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和未來的人才培養(yǎng)為社會做貢獻(xiàn)
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主營產(chǎn)品： 實驗室儀器；測量儀器；環(huán)境檢測儀器；計量器具；傳感器の專門商社池田屋！
全新Osaka Vacuum大阪真空節(jié)能減排分子泵TG450F
產(chǎn)品型號：TG800F
產(chǎn)品簡介：

全新Osaka Vacuum大阪真空節(jié)能減排分子泵TG450F 全新Osaka Vacuum大阪真空節(jié)能減排分子泵TG450F

詳細(xì)介紹

全新Osaka Vacuum大阪真空節(jié)能減排分子泵TG450F

全新Osaka Vacuum大阪真空節(jié)能減排分子泵TG450F


?半導(dǎo)體制造

?電子槍排氣、離子源排氣

?FPD制造

?表面處理、表面改性

?各種電子零件的制造

?分析測試設(shè)備

?管材制造、光學(xué)零件制造

?加速器、放射線設(shè)施、核聚變研究

·熱處理

·研究與開發(fā)

*排出腐蝕性氣體等時，請選擇與化學(xué)品兼容的TG-M或TG系列。


模型 TG450F
進(jìn)氣法蘭  VG150
ISO-B160
CF160
抽速 氮氣（升/秒） 450
N 2 (帶保護(hù)絲網(wǎng)) (L/s) 第430章
H2 （升/秒） 240
*大壓縮比  N2 1× 108
H2 2×10 3
極限壓力  （帕/托） <1×10-6 /  <7.5× 10-9
*大氣體流量*1 （SCCM） 500
啟動時間 （分鐘）  2-2.5
停止時間 （分鐘）  5-6.5
允許輔助壓力 （帕/托） 260/2
推薦輔助泵 (升/分鐘) ≧80
安裝位置 自由地
大量的 VG?ISO-R / CF(公斤)  7/10
控制器型號 TC353

 

*1：輔助泵容量為160L/min時，*大允許流量
[環(huán)境使用溫度]
極限壓力的保證環(huán)境溫度為10～23℃。另外，風(fēng)冷時允許環(huán)境溫度為 10 至 32°C，水冷時允許環(huán)境溫度為 10 至 40°C。極限壓力保證冷卻水溫度為30℃以下，允許冷卻水溫度為10～35℃。
[兼容氣體類型]
根據(jù)吸入氣體類型，軸承潤滑油脂和內(nèi)部零件可能會劣化。請聯(lián)系我們了解兼容的氣體類型。