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捕捉變化，開拓未來
通過科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和未來的人才培養(yǎng)為社會做貢獻(xiàn)
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主營產(chǎn)品： 實(shí)驗(yàn)室儀器；測量儀器；環(huán)境檢測儀器；計(jì)量器具；傳感器の專門商社池田屋！
全新Osaka Vacuum大阪真空復(fù)合分子泵TG50F
產(chǎn)品型號：TG60F
產(chǎn)品簡介：

全新Osaka Vacuum大阪真空復(fù)合分子泵TG50F 全新Osaka Vacuum大阪真空復(fù)合分子泵TG50F

詳細(xì)介紹

全新Osaka Vacuum大阪真空復(fù)合分子泵TG50F

全新Osaka Vacuum大阪真空復(fù)合分子泵TG50F


  • 自由安裝位置
  • 尺寸緊湊
  • 節(jié)能減排
  • 快速啟動
  • 可快速排氣停止
  • 與大氣入口兼容
  • 可串行通訊

目的

?半導(dǎo)體制造

?電子槍排氣、離子源排氣

?FPD制造

?表面處理、表面改性

?各種電子零件的制造

?分析測試設(shè)備

?管材制造、光學(xué)零件制造

?加速器、放射線設(shè)施、核聚變研究

·熱處理

·研究與開發(fā)

*排出腐蝕性氣體等時(shí)，請選擇與化學(xué)品兼容的TG-M或TG系列。


進(jìn)氣法蘭  VG65
ISO-R63
CF63
抽速 氮?dú)?/span>（升/秒） 51
N 2 (帶保護(hù)絲網(wǎng)) (L/s) 49
H2 （升/秒） 12
*大壓縮比  N2 1.4× 107
H2 5× 102
極限壓力  VG?ISO-R/CF (Pa) <3× 10-6
VG?ISO-R/CF (托) <2.3×10 -8
*大氣體流量*1 氮?dú)? sccm ) 80
啟動時(shí)間 （分鐘）  1-1.5
停止時(shí)間 （分鐘） 1-1.5
允許輔助壓力 （帕/托） 1330 / 10
推薦輔助泵 (升/分鐘) ≧50
安裝位置 自由地
大量的  VG·ISO-R / CF(公斤) 4.2/6
控制器型號 TC64

 

*1：輔助泵容量為100L/min時(shí)的*大允許流量


[使用環(huán)境溫度]
保證極限壓力的環(huán)境溫度為10～23℃。另外，風(fēng)冷時(shí)允許環(huán)境溫度為 10 至 32°C，水冷時(shí)允許環(huán)境溫度為 10 至 40°C。極限壓力保證冷卻水溫度為30℃以下，允許冷卻水溫度為10～35℃。
[兼容氣體類型]
根據(jù)吸入氣體類型，軸承潤滑油脂和內(nèi)部零件可能會劣化。請聯(lián)系我們了解兼容的氣體類型。