真空計(jì)的類型測(cè)量方法 池田屋實(shí)業(yè)

真空計(jì)的類型測(cè)量方法 池田屋實(shí)業(yè)

什么是真空計(jì)？

真空計(jì)是測(cè)量一定空間內(nèi)真空度的傳感器。

根據(jù)用途，選擇分壓真空計(jì)或全壓真空計(jì)。另外，測(cè)量方法有很多種，可測(cè)量的真空范圍根據(jù)這些差異而變化。

真空計(jì)的應(yīng)用實(shí)例

真空空間通常用于需要高清潔度的制造場(chǎng)所，因?yàn)榭梢?大程度地減少包括水分在內(nèi)的雜質(zhì)。其中，真空計(jì)安裝在與需要真空度控制的腔室和石英管連接的流體回路中。

真空計(jì)通常安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備的等離子蝕刻空間以及冶金、有機(jī)合成等實(shí)驗(yàn)設(shè)備中。它還用于需要表面清潔度的場(chǎng)合，例如離子束設(shè)備、氣相沉積設(shè)備以及其他需要表面清潔度的應(yīng)用。

真空計(jì)原理

真空計(jì)的類型和測(cè)量原理有很多種。真空計(jì)成功測(cè)量少量氣體分子的動(dòng)量，并將其轉(zhuǎn)換為氣體密度和空間真空度。*流行的真空計(jì)類型是皮拉尼真空計(jì)。

皮拉尼真空計(jì)是一種電阻式真空計(jì)，可根據(jù)氣體與攜帶電流的鉑絲碰撞時(shí)損失的熱能計(jì)算出電流，然后根據(jù)該值計(jì)算出壓力。其機(jī)制是，這一微小壓力直接對(duì)應(yīng)于真空度。

如何選擇真空計(jì)

真空計(jì)有多種類型，因此您需要選擇*適合您用途的一種。由于特性因使用類型和測(cè)量方法而異，因此徹底了解每種特性非常重要。

此外，真空計(jì)有多種類型，因此您需要根據(jù)要測(cè)量的真空空間的真空度來選擇一種真空計(jì)。如果您想保證*終的真空度，一個(gè)真空計(jì)就足夠了，但如果您想了解真空泵的行為，例如抽氣速度，則需要安裝多個(gè)真空度。

真空計(jì)的類型

真空計(jì)根據(jù)用途、測(cè)量方法、測(cè)量范圍可分為多種類型。

1. 按用途

分壓真空計(jì)
選擇分壓真空計(jì)僅測(cè)量個(gè)別氣體的真空度。當(dāng)兩種或多種氣體混合時(shí)，每種氣體表現(xiàn)出的壓力就是分壓。

它用于分析真空質(zhì)量，因?yàn)榧词乖谙嗤瑝毫ο?，性能也?huì)根據(jù)氣體類型而有所不同。質(zhì)譜儀是一種常見的分壓真空計(jì)。

質(zhì)譜儀由三部分組成：離子源、分析部分和檢測(cè)部分。通過使用電場(chǎng)和磁場(chǎng)，可以通過僅觀察特定離子來確定每種氣體的壓力。

當(dāng)您想簡(jiǎn)單地測(cè)量空間的真空度時(shí)，請(qǐng)選擇全壓真空計(jì)。根據(jù)測(cè)量方法的不同，有多種類型，因此有必要選擇一種適合您的用途的類型。

2.測(cè)量方法

測(cè)量方法主要分為三種類型。這些是“檢測(cè)壓力本身的方法”、“利用氣體傳輸現(xiàn)象的方法”和“利用氣體中的電離現(xiàn)象的方法”。

本身檢測(cè)壓力的方法
U型管真空計(jì)是利用壓力本身檢測(cè)的真空計(jì)。 U型真空計(jì)是一種差壓表，由一端抽真空并密封的玻璃U型管制成。

氣體壓力差可以從壓力差引起的液柱高度讀取。 U型真空計(jì)的獨(dú)特之處在于它不屬于氣體類型。因此，它被用作其他真空計(jì)的校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)，因?yàn)樗试S**測(cè)量壓力。

利用氣體傳輸現(xiàn)象的方法
熱傳導(dǎo)真空計(jì)是利用氣體傳輸現(xiàn)象的真空計(jì)。這是利用氣體的熱導(dǎo)率根據(jù)壓力而變化的特性的真空計(jì)。

熱傳導(dǎo)真空計(jì)有多種類型，包括皮拉尼真空計(jì)、熱敏電阻真空計(jì)和熱電偶真空計(jì)。關(guān)于熱傳導(dǎo)真空計(jì)需要注意的重要一點(diǎn)是，在高真空下，熱輻射的影響變得大于熱導(dǎo)率的影響。因此，熱導(dǎo)真空計(jì)的缺點(diǎn)是不能用于高真空測(cè)量。

利用氣體中的電離現(xiàn)象的方法
利用氣體中的電離現(xiàn)象的真空管包括潘寧真空計(jì)(冷陰極電離真空計(jì))和離子計(jì)(熱陰極電離真空計(jì))。彭寧真空計(jì)可以利用真空中的放電現(xiàn)象來測(cè)量壓力。雖然具有優(yōu)異的耐久性，但其靈敏度根據(jù)氣體種類的不同而有很大差異。

潘寧真空計(jì)的優(yōu)點(diǎn)是電路配置簡(jiǎn)單。另一方面，其缺點(diǎn)是潘寧放電不穩(wěn)定，難以高精度測(cè)量。此外，如果表面污染嚴(yán)重，則從陰極發(fā)射的電子量會(huì)減少，導(dǎo)致無法放電，并且如果陰極處于高真空中，則可能難以開始放電。

3、測(cè)量范圍

壓力分為低真空、中真空、高真空、超高真空等真空度，根據(jù)真空計(jì)的類型不同，測(cè)量真空度也不同。根據(jù)JIS（日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)），真空度根據(jù)壓力范圍分為如下所示的五類。皮拉尼真空計(jì)可以測(cè)量低真空到中真空，電離真空計(jì)可以測(cè)量中真空到超高真空。

• 低真空：10 5 Pa～10 2 Pa
• 中真空：10 2 Pa～10 -1 Pa
• 高真空：10 -1 Pa～10 -5 Pa
• 超高真空：-5 Pa至1 0-8 Pa
• 極高真空：10 -8 Pa以下