|
型號
|
SH200-A
|
SH200-R
|
HT200-E
（即將上市）
|
|
規(guī)格
|
標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格
|
串口通信規(guī)格
|
EtherCAT規(guī)格
|
|
適應(yīng)多離子傳感器
|
M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070)
|
|
可以連接的傳感器
|
多離子傳感器：1本
皮拉尼真空計SWU10-R：1本（可選）
大其他傳感器SAU：1本（可選）
|
|
測量精度（N2）
|
SH200本體模式：±2％
|
|
取樣時間
|
60ms 5回 移動平均処理
|
|
測定値出力
|
出力電壓 DC 0～10V LOG出力 0.75V/1桁
圧力換算公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2}
|
|
更新時間
|
60msec
|
|
控制輸入信號
|
FIL ON/OFF, FIL 1/2, DEGAS ON/OFF
打開集電極動作、負(fù)邏輯
* FIL ON/OFF信號使用方式因模式而異
|
-
|
-
|
|
制御出力信號
|
傳感器錯誤，設(shè)***1/2/3, 有效排放,燈絲電力監(jiān)控
定格：24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1V
|
-
|
-
|
|
串行通信規(guī)格
|
-
|
RS232C/RS-485
|
EtherCAT
|
|
LED顯示
|
POWER/ERROR： 電源、LED ERROR (閃爍狀態(tài)根據(jù)各種模式變化)
|
|
發(fā)射電流
|
1mA (1×10-3Pa以下), 10μA (1×10-3Pa以上)
|
|
DEGAS
|
電子轟擊脫離方法（電子轟擊）1mA、330V
|
|
測量部耐圧性
|
2×10+5Pa （壓力）
* 需要單獨考慮法蘭和夾具等的耐壓性
|
|
傳感器內(nèi)部容量
|
17cm3(M-44), 19cm3(M-45), 17cm3(M-46)
|
|
使用溫度范圍
|
10～50℃
|
|
使用濕度范圍
|
15～80%(不結(jié)露)
|
|
保管溫度
|
-20～65℃(非通電時、不結(jié)露)
|
|
IP保護等級
|
IP30
|
|
電源電壓
|
DC20～28V (波紋，噪音1%以下)
8W以下
|
|
輸入/輸出連接器
|
D-sub15銷（M2.6螺絲）
|
|
重量
|
調(diào)節(jié)器：約280g 測定子(M-44, M-45)：80g, (M-46): 300g
|
|
外形尺寸 W×D×H
|
69mm×63mm×90mm (控制器部分)
|
|
適合規(guī)格
|
CE
|
|
選項
|
多離子傳感器
|
M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070)
材質(zhì)：燈絲1,2 -Ir/Y2O3殼
其他：PtC-Mo, SUS304, W, Kovar glass, Kovar/Ni???
|
|
皮拉尼真空計傳感器
|
SWU10-R ※也支持傳統(tǒng)的SPU產(chǎn)品。
|
|
皮拉尼真空計
|
SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(Φ18 pipe end), SWP-P15(Φ15 pipe end),SWP-CF16(ICF034)
材質(zhì)：燈絲－Pt, 其他－BS/Ni, 電鍍, Ni, 焊接
|
|
大氣壓傳感器
|
SAU(NW16) 材質(zhì)：SUS316L
|
|
單位電纜
|
GUC-200P（SWU用）：0.5m, 1m, 2m, GUC-200A（SAU用）：0.5m, 1m, 2m
|
|
顯示單元
|
1CH：ISG1 (DC24V電源使用)
|
|
顯示單元電纜
|
SH200～顯示單元電纜
2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30ｍ, 35m, 40m
|
|
連接器
|
入出力連接器（D-sub15-soket（M2.6mm螺絲））
|
|
其他
|
検査成績書, 一般校正試験成績書, JCSS校正証明書
|